тел.:  +7(499) 731-13-06,
          +7(499) 731-16-03
факс: +7(499) 731-55-92
email: admin AT niifp.ru

Научная деятельность  » 

Результаты  » 

 
 
 

Интегральные схемы с однослойной топологией


ВПЕРВЫЕ - всего одна литография для изготовления ИС.

НАЗНАЧЕНИЕ: Интегральные схемы на основе технологии с одной операцией литографии - однолитграфической технологии.

Переход к однолитографической технологии ведет к ее коренным изменениям. Однократность переноса топологической информации на обрабатываемую пластину позволяет минимизировать помехи и все последующие технологические операции проводить в замкнутом контролируемом объеме. В результате достигаются следующие цели:

- максимальная стабилизация технологии;

- воспроизводимость предельно минимальных размеров;

- минимизация привносимых дефектов.

ПРИНЦИП: Кодирование основных элементов ИС (активных приборов и элементов межсоединений) элементами плоских прямоугольных графов. Пример однослойной топологии двухвходового вентиля:

СВОЙСТВА: Однократный перенос топологического рисунка на пластину с маской. Сохранение рисунка на маске в течение всего технологического маршрута. Возможность переноса рисунка со схемы на пластину непосредственно. Возможность перехода к схемам с воздушной (вакуумной) изоляцией.

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ: Микросистемы, наноэлектроника, биомолекулярная электроника.

СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТКИ: Выполняется моделирование технологии

 

Copyright (C) 1998 Государственный НИИ физических проблем им. Ф.В.Лукина

V. V. Rakitin Integrated Circuits with Single-Layer Topology 

 Russian Microelectronics Vol. 25, No. 2, 1996 p. 101

 А.С. 2100873 от 27.09.1994 

 

 
 
Copyright © 1998-2017, NT-MDT