тел.:  +7(499) 731-13-06,
          +7(499) 731-16-03
факс: +7(499) 731-55-92
email: admin AT niifp.ru

Научная деятельность  » 

Проекты  » 

 
 
 

   

 



Концепция разрабатываемых наноэлектронных технологий:

 

применение мульти-кластерных технологических платформ и  острофокусной многолучевой электронно-лучевой литографии



- процессы и материалы вакуумной электронолитографии;
- процессы и материалы  АСО
 
 
Copyright © 1998-2017, NT-MDT